发明名称 一种利用真空罐加速抽真空的装置
摘要 本实用新型公开了一种利用真空罐加速抽真空的装置,所述装置包括真空泵(1)、第一管道(4)、第一阀门(5)和第二阀门(6);待抽真空腔室(2)通过第一管道(4)连通真空泵(1);所述装置设有真空罐(3),所述真空罐(3)通过第二管道(7)分别连通待抽真空腔室(2)与真空泵(1);所述第一阀门(5)设置在第二管道(7)上,控制真空罐(3)与其它装置联通;所述第二阀门(6)设置在待抽真空腔室(2)与真空罐(3)之间的第一管道(4)上;加速抽真空的方法是先利用气体的自由膨胀原理,将腔体内部的气体分子数量迅速减小,之后再使用真空泵抽取剩余空气,从而缩短腔体抽真空的所需时间,提高设备产能,提高了生产效率、降低了成本。
申请公布号 CN206116345U 申请公布日期 2017.04.19
申请号 CN201621168751.5 申请日期 2016.11.02
申请人 江苏微导纳米装备科技有限公司 发明人 胡彬;潘景伟;胡磊
分类号 H01J37/32(2006.01)I 主分类号 H01J37/32(2006.01)I
代理机构 南京知识律师事务所 32207 代理人 朱少华
主权项 一种利用真空罐加速抽真空的装置,所述装置包括真空泵(1)、第一管道(4)、第一阀门(5)和第二阀门(6);待抽真空腔室(2)通过第一管道(4)连通真空泵(1);其特征在于,所述装置设有真空罐(3),所述真空罐(3)通过第二管道(7)分别连通待抽真空腔室(2)与真空泵(1);所述第一阀门(5)设置在第二管道(7)上,用以控制真空罐(3)与其它装置联通;所述第二阀门(6)设置在待抽真空腔室(2)与真空罐(3)之间的第一管道(4)上。
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