一种具有高效隔绝性能的氮化硅涂层的制备方法

摘要

本发明涉及一种具有高效隔绝性能的氮化硅涂层的制备方法，其制备方法如下：（1）氮化硅浆料的配制：首先称取一定质量的氮化硅粉体加入到超纯水中，机械搅拌10~30min得到均匀的氮化硅浆液；然后将硅溶胶加入到所述浆液中，继续搅拌10~30min得到均匀的氮化硅浆料；（2）氮化硅涂层的喷涂：将步骤（1）得到的氮化硅浆料喷涂到坩埚内表面，得到氮化硅涂层；（3）喷涂后涂层的养护：将步骤（2）得到的氮化硅涂层烘干，然后用压缩气体吹掉浮粉，将坩埚从加热体上取下。本发明制备的氮化硅涂层可以高效隔绝坩埚杂质向多晶硅锭的扩散，有效减小硅锭红区宽度，节约生产成本，适合多晶硅铸锭工业规模化应用。

主权项

一种具有高效隔绝性能的氮化硅涂层的制备方法，其特征在于，通过以下步骤实现：（1）氮化硅浆料的配制：首先称取一定质量的氮化硅粉体加入到超纯水中，所述氮化硅粉体的加入量为所述超纯水的30~50wt%，机械搅拌10~30min得到均匀的氮化硅浆液；然后将硅溶胶加入到所述浆液中，所述硅溶胶的加入量为所述超纯水体积的10~25%，继续搅拌10~30min得到均匀的氮化硅浆料；（2）氮化硅涂层的喷涂：将步骤（1）得到的氮化硅浆料喷涂到坩埚内表面，得到氮化硅涂层，所述喷涂温度为70~90℃，所述喷涂压力为0.2~0.3MPa，所述喷涂距离为10~20cm；（3）喷涂后涂层的养护：将步骤（2）得到的氮化硅涂层烘干，所述烘干温度为90~120℃，所述烘干时间为40~90min；然后用压缩气体吹掉浮粉，将坩埚从加热体上取下。