一种微通道液体制冷片

摘要

本实用新型提出了一种微通道液体制冷片，在现有的微通道液体制冷片的基础上，采用了非均匀直径的进水微通道/出水微通道结构，优化了半导体芯片的不均匀散热问题；尤其是中部较大的微通道设计增加了制冷片沿其宽度方向中间部位的水流量，进而增加中间的散热能力，以减小封装在该微通道液体制冷片上的芯片沿宽度方向的温差，使得产品封装后的光谱宽度变小。

主权项

一种微通道液体制冷片，包括自下而上的下盖板，进水层，中间层，回水层，上盖板五层结构，并且设置有贯通前述五层结构的进水孔和出水孔；所述进水层设有进水微通道与进水孔相连，使得流入进水层的制冷液体分流至各进水微通道；所述回水层设有出水微通道；所述中间层设有通水孔，用于连通进水层的进水微通道与回水层的出水微通道，此外，中间层设有通水延伸区将出水孔与回水层的出水微通道连通，使得出水微通道汇集后的制冷液体由中间层通水延伸区进入出水孔流出，其特征在于：所述进水层的各条进水微通道的直径不等，使得各进水微通道的水流量不等；和/或回水层的各条出水微通道的直径不等，使得各条出水微通道的水流量不等。