检测设备、检测系统和用于生产检测设备的方法

摘要

本发明涉及检测设备、检测系统和用于生产检测设备的方法。一种检测设备包括多个转换元件、层间绝缘层和覆盖层。多个转换元件中的每一个都包括电连接到多个开关元件中的一个对应开关元件的电极和设置在所述电极上的半导体层。层间绝缘层被设置为覆盖多个开关元件并由有机材料构成，并且具有包括第一区域和位于第一区域之外的第二区域的表面。电极被设置在第一区域中的层间绝缘层的表面上。覆盖层被设置在第二区域中的层间绝缘层的表面上并由无机材料构成。

主权项

一种检测设备，其特征在于包含：像素阵列区域和像素阵列外部区域，在像素阵列区域中多个像素被布置于基板上，并且像素阵列外部区域在基板上被布置于像素阵列区域之外，所述多个像素中的每一个都包括转换元件，所述转换元件包括电连接到多个开关元件中的一个对应开关元件的电极、设置在所述电极上的杂质半导体层和设置在所述杂质半导体层上的半导体层；层间绝缘层，该层间绝缘层被设置为覆盖所述多个开关元件并由有机材料构成，所述电极在像素阵列区域中被设置于层间绝缘层的表面上；以及覆盖层，所述覆盖层由无机材料构成，其中，所述覆盖层在像素阵列外部区域中被布置于层间绝缘层的表面上，以使得所述多个像素之中的位于所述像素阵列区域的边缘的像素的杂质半导体层的端部被置于所述覆盖层上。