发明名称 METHOD OF SCRIBING-BREAKING BRITTLE SHEETS AND BREAKING EQUIPMENT THEREFOR, SCRIBING-BREAKING APPARATUS AND SCRIBING-BREAKING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100573207(B1) 申请公布日期 2006.04.24
申请号 KR20010059010 申请日期 2001.09.24
申请人 发明人
分类号 B26F3/00;B28D1/28;C03B33/03;C03B33/033;H01L21/301;H01L21/78 主分类号 B26F3/00
代理机构 代理人
主权项
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