发明名称 半导体结构及其形成方法
摘要 本发明涉及半导体结构及其形成方法。结构以及产生半导体结构的方法包括:半绝缘半导体层;多个隔离的器件,其被形成在所述半绝缘半导体层之上;以及金属‑半导体合金区,其被形成在所述半绝缘半导体层中,其中,所述金属‑半导体合金区电连接所述隔离的器件中的两个或更多个。
申请公布号 CN104218025B 申请公布日期 2017.04.12
申请号 CN201410233973.X 申请日期 2014.05.29
申请人 国际商业机器公司 发明人 G·科恩;C·卡布拉尔;A·小巴苏
分类号 H01L23/538(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I 主分类号 H01L23/538(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 代理人 贺月娇;于静
主权项 一种半导体结构,包括:半绝缘半导体层;多个隔离的器件,其被形成在所述半绝缘半导体层之上;以及金属‑半导体合金区,其被形成在所述半绝缘半导体层中,其中,所述金属‑半导体合金区电连接所述隔离的器件中的两个或更多个;并且所述金属‑半导体合金区包括与InP形成合金的Ni、Co、Pd、Pt、Ti及其合金中的一种。
地址 美国纽约