发明名称 |
半导体结构及其形成方法 |
摘要 |
本发明涉及半导体结构及其形成方法。结构以及产生半导体结构的方法包括:半绝缘半导体层;多个隔离的器件,其被形成在所述半绝缘半导体层之上;以及金属‑半导体合金区,其被形成在所述半绝缘半导体层中,其中,所述金属‑半导体合金区电连接所述隔离的器件中的两个或更多个。 |
申请公布号 |
CN104218025B |
申请公布日期 |
2017.04.12 |
申请号 |
CN201410233973.X |
申请日期 |
2014.05.29 |
申请人 |
国际商业机器公司 |
发明人 |
G·科恩;C·卡布拉尔;A·小巴苏 |
分类号 |
H01L23/538(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/538(2006.01)I |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 11247 |
代理人 |
贺月娇;于静 |
主权项 |
一种半导体结构,包括:半绝缘半导体层;多个隔离的器件,其被形成在所述半绝缘半导体层之上;以及金属‑半导体合金区,其被形成在所述半绝缘半导体层中,其中,所述金属‑半导体合金区电连接所述隔离的器件中的两个或更多个;并且所述金属‑半导体合金区包括与InP形成合金的Ni、Co、Pd、Pt、Ti及其合金中的一种。 |
地址 |
美国纽约 |