真空泵

摘要

本发明提供一种真空泵，防止螺纹槽排气部与转子固着，并且螺纹槽排气部不会使排气性能变差，所述螺纹槽排气部用于防止气体流向转子的内周侧。在与泵转子(4)稳定旋转时的转子圆筒部(8)相向的基座(50)的内部底面(50a)的位置上，利用螺钉固定有螺纹槽排气部(70)。螺纹槽排气部(70)的外径优选的是设定成等于泵转子(4)稳定旋转时的转子圆筒部(8)的外径。根据本发明，可提供一种真空泵，防止螺纹槽排气部与转子固着，并且螺纹槽排气部不会使排气性能变差。

主权项

一种真空泵，其特征在于包括：泵转子，受到旋转驱动；泵定子，与所述泵转子协作动作而排出气体；基座，形成有借由所述泵转子及所述泵定子而排出的气体所流入的排气侧空间、以及与所述排气侧空间连通的排气口；槽排气部，在所述泵转子的下游侧端面，或者在与所述下游侧端面相向的所述基座的内部底面，设置成以所述泵转子的旋转轴为中心的环形，用于从所述泵转子的内周侧向所述排气侧空间排出气体；并且所述槽排气部沿周方向交替地配置有作为凹部的槽及凸部，所述槽排气部位于气体流入至所述排气侧空间并向所述排气口排出为止的排气路径之外。