| 发明名称 | 离子源 | ||
| 摘要 | 本发明涉及离子源。提供了一种离子源，其包括至少一个电子枪。电子枪包括用于生成电子束的电子源和用于接收气体的入口。电子枪还包括至少由阳极和接地元件限定的等离子体区域，其中，等离子体区域能够从经由入口接收的气体形成等离子体。等离子体能够由电子束的至少一部分所维持。电子枪进一步包括用于输送以下至少之一的出口：（i）由等离子体生成的离子或（ii）由电子源生成的电子束的至少一部分。 | ||
| 申请公布号 | CN104051209B | 申请公布日期 | 2017.04.12 |
| 申请号 | CN201310685061.1 | 申请日期 | 2013.12.13 |
| 申请人 | 日新离子机器株式会社 | 发明人 | 托马斯·N·霍斯奇;萨米·K·哈托 |
| 分类号 | H01J37/08(2006.01)I;H01J37/075(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 戚传江;谢丽娜 |
| 主权项 | 一种离子源，包括：至少一个电子枪，所述电子枪包括：电子源，用于生成电子束；入口，用于接收气体；等离子体区域，至少由阳极和接地元件限定，所述等离子体区域适合于从经由所述入口接收的所述气体形成等离子体，其中，所述等离子体由所述电子束的至少一部分来维持；以及出口，用于输送以下至少之一：(i)由所述等离子体生成的离子或(ii)所述电子束的至少一部分。 | ||
| 地址 | 日本京都 | ||