固态成像装置及其制造方法、以及摄像机

摘要

本发明提供一种固态成像装置，包括具有第一表面和第二表面的衬底，光入射在第二表面侧；设置在第一表面侧的布线层；形成在衬底中且包括第一导电类型的第一区的光电检测器；设置在衬底的第一表面上且邻近光电检测器的转移栅极，转移栅极传输积累在光电检测器中的信号电荷；设置在衬底的第一表面且叠置在光电检测器上的至少一个控制栅极，控制栅极控制第一表面附近该光电检测器的电势。

主权项

一种固态成像装置，包括：衬底，具有位于前端的第一表面和后端的第二表面；光电检测器，形成在该衬底中且在该第二表面上包括光接收表面；膜，设置在该第二表面或该第二表面上方且具有负固定电荷，该具有负固定电荷的膜在该光电检测器的光吸收表面上形成空穴积累区，以抑制暗电流；以及布线层，设置在该第一表面之上，其中该具有负固定电荷的膜由选自铪、锆、铝、钽、钛、钇、镧系元素的元素的氧化物构成。