| 发明名称 | 一种改进型晶圆承载台 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种改进型晶圆承载台，承载台为空心半球形，且在承载台上设置有多个晶圆夹具，所述晶圆夹具之间设置有测试片夹具，所述晶圆承载台背部设置有测试片夹具遮挡板。采用本实用新型能够有效降低薄膜特性测试的成本。 | ||
| 申请公布号 | CN206098371U | 申请公布日期 | 2017.04.12 |
| 申请号 | CN201621108676.3 | 申请日期 | 2016.10.10 |
| 申请人 | 成都海威华芯科技有限公司 | 发明人 | 韩志龙 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人 | 徐丰;刘袁君 |
| 主权项 | 一种改进型晶圆承载台，承载台为空心半球形，且在承载台上设置有多个晶圆夹具，其特征在于：所述晶圆夹具之间设置有测试片夹具，所述晶圆承载台背部设置有测试片夹具遮挡板。 | ||
| 地址 | 610029 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区物联网产业园内 | ||