一种用于远距离携带MEMS晶圆的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于远距离携带MEMS晶圆的装置，它包括外筒体，在外筒体内通过圆周均布的下弹簧支撑有内腔体，在内腔体内设有海绵垫，用于放置MEMS晶圆；在内腔体上面连接有内顶盖，在外筒体上口可拆卸连接有压盖，在压盖上圆周均布有螺孔，在每个螺孔内分别设有上弹簧和限位螺钉，上弹簧下端插入内顶盖顶面对应的凹孔内。有益效果是：由于在内腔体内设有海绵垫隔振，在内腔体与压盖和外筒体底面之间分别上、下弹簧进行隔振，实现了双重隔振结构，可以有效地避免由于外界的冲击和振动所导致的MEMS晶圆的碎裂和损伤，特别适合远距离携带MEMS晶圆。

主权项

一种用于远距离携带MEMS晶圆的装置，其特征在于：它包括外筒体，在外筒体内通过圆周均布的下弹簧支撑有内腔体，在内腔体内设有海绵垫，用于放置MEMS晶圆；在内腔体上面连接有内顶盖，在外筒体上口可拆卸连接有压盖，在压盖上圆周均布有螺孔，在每个螺孔内分别设有上弹簧和限位螺钉，上弹簧下端插入内顶盖顶面对应的凹孔内。