气体导入装置和电感耦合等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种能够极力避免处理装置所使用的陶瓷制部件的因热而产生的不良情况的安装结构。气体导入转接器（10A）具备中空状的转接器主体（121）和将该转接器主体（121）固定于第一部分壁（6A）的固定机构（122）。固定机构（122）具备保持转接器主体（121）的上部凸缘（121a）的保持件（123）、作为第一紧固件的环状阳螺纹（124）、作为第二紧固件的螺母（125）和在第一部分壁（6A）的上表面上固定于转接器主体（121）的周围的衬垫（126）。在加热时螺母（125）和衬垫（126）在相反方向上热膨胀，保持件（123）作为用来缓和转接器主体（121）的应力的应力缓和机构发挥功能。

主权项

一种气体导入装置，其特征在于：所述气体导入装置将气体导入处理装置的处理室内，所述处理装置具备：主体容器；处理室，其设置在所述主体容器的内部，收纳被处理体；板状部件，其构成所述处理室的顶面部分；气体供给装置，其对所述处理室供给气体；和配管，其将来自所述气体供给装置的气体导入所述处理室内，所述气体导入装置具有：中空状的陶瓷制部件，其包括具有能够插入到所述板状部件的贯通开口的大小的第一凸缘部和比所述贯通开口大的第二凸缘部，该陶瓷制部件在被插入到所述贯通开口的状态下与所述配管连结；保持部件，其与被插入到所述贯通开口的状态下的所述陶瓷制部件的第一凸缘部抵接并对其进行保持；第一紧固件，其与所述保持部件连结并且在外周部具有第一螺纹构造；和第二紧固件，其在呈筒状的内周面具有与所述第一螺纹构造旋合的第二螺纹构造，用于与所述第一紧固件紧固连结，其中，以所述保持部件因热膨胀而伸长的方向和所述第二紧固件因热膨胀而伸长的方向相互相反的方式连结所述保持部件和所述第一紧固件。