小结构的局部真空中修改

摘要

本发明涉及小结构的局部真空中修改。使用一种电荷转移机制来针对小结构来局部淀积或去除材料。创建局部电化学电池而不必将整个工件浸入浴中。电荷转移机制可以与荷电粒子束或激光系统一起使用以修改小结构，诸如集成电路或微机电系统。电荷转移工艺可以在空气中执行，在一些实施例中可以在真空室中执行。

主权项

一种将材料局部淀积到表面上的方法，其中所述表面是绝缘表面或者是电隔离传导表面，所述方法包括：使用纳米笔将电解质施加到表面上，所述纳米笔包括纳米毛细管、纳米注射器或纳米移液器并且包括关联的电极，其中使用纳米笔将电解质施加到表面上包括使用纳米毛细管、纳米注射器或纳米移液器把电介质递送至所述表面；以及按照如下方式施加电流通过电解质以开始电化学反应，用于将电解质的成分淀积到表面上：将电位施加到相关联的电极；以及引导荷电粒子束以向电解质提供电荷。