一种双工件台系统安全保护方法

摘要

一种双工件台系统安全保护方法，它属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤一：在多个多路运动控制卡内分别设置多组字节大小的双口RAM；二：多个多路运动控制卡中的FPGA以200us采样周期，通过VME工控机中的VME自定义总线从信号采集卡获取各电机的位置信息，并存放在相应的双口RAM内；三：嵌入式主控CPU板通过VME总线获取各多路运动控制卡内各电机的位置及位置误差信息；四：上位机通过以太网接收来自嵌入式主控CPU板的数据，并判断数据类型，当该数据为故障代码时，弹出对话框，提示用户出现故障，并显示故障代码。本发明基于VxWorks操作系统与VME总线工作，在系统某一机构发生故障时，利用软件使本机构和其他机构停止运行，保障了双工件台系统的安全运行。

主权项

一种双工件台系统安全保护方法，其特征在于它的方法步骤为：步骤一：在每个多路运动控制卡（4）内分别设置多组8字节大小的双口RAM，分别存放安全保护标志、各多路运动控制卡（4）所控制的各个电机的位置及位置误差；步骤二：多个多路运动控制卡（4）中的FPGA以200us采样周期，通过VME工控机（2）中的VME自定义总线（6）从信号采集卡（5）获取各电机的位置信息，并存放在相应的双口RAM内，FPGA每完成一次信号采集，触发一次各多路运动控制卡（4）中的DSP的外部中断；在DSP外部中断程序内，DSP首先通过各多路运动控制卡（4）中的EMIF读取FPGA内安全保护标志，当该标志不为0时，立即对各电机发送停止运行指令；若安全保护标志为0，则获取FPGA的双口RAM内的电机位置信息，并依据当前位置给定，对各电机进行PID控制，并将各电机的位置误差值，通过EMIF写进FPGA的位置误差双口RAM内；步骤三：嵌入式主控CPU板（3）通过VME总线（7）不断获取各多路运动控制卡（4）内各电机的位置及位置误差信息；首先判断各电机位置误差及各电机之间的位置关系是否正常，若不正常，说明出现故障；出现故障后嵌入式主控CPU板（3）一方面将故障代码通过VME总线（7）写进各多路运动控制卡（4）的安全保护标志双口RAM内，另一方面将故障代码通过以太网（8）发给上位机（1）；步骤四：上位机（1）通过以太网（8）接收来自嵌入式主控CPU板（3）的数据，并判断数据类型，当该数据为故障代码时，弹出对话框，提示用户出现故障，并显示故障代码。