波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置

摘要

本发明提供一种波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置。该波长可变干涉滤波器具备：固定基板；可动基板，与固定基板相对；第一反射膜，形成于固定基板的与可动基板相对的面；第二反射膜，设置于可动基板，并与第一反射膜有间隙地对置；第一电极，设置于固定基板的与可动基板相对的面；第二电极，设置于可动基板，并与第一电极相对；接合部，设置于固定基板和可动基板互相对置的面，接合固定基板与可动基板；以及槽部，设置于固定基板和可动基板彼此相对的面中的至少一个面，其中，形成第一反射膜与第二反射膜之间的间隙的空间与外部经由槽部连通。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，形成于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二反射膜，设置于所述第二基板，并与所述第一反射膜有间隙地相对；第一电极，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二电极，设置于所述第二基板，并与所述第一电极相对；接合部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面，用于接合所述第一基板与所述第二基板；以及槽部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面中的至少一个面，在所述槽部配置有多个柱状部，所述第一基板和所述第二基板通过多个所述柱状部接合，其中，形成所述第一反射膜与所述第二反射膜之间的所述间隙的空间经由所述槽部与外部连通。