Probenhalter und mit geladenen Teilchen arbeitende Vorrichtung

摘要

Probenhalter mit einem Gaseinleitrohr und einem Gasauslassrohr zum Steuern der Umgebung einer Probe in einem Atmosphärendruckumfeld in einer Probenkammer einer mit geladenen Teilchen arbeitenden Vorrichtung mit einem Durchgangsloch für geladene Teilchen, das auch als Mikroöffnung zur Detektion von der Probe abgegebener Sekundärelektronen oberhalb der Probe dient, und mit einem Durchgangsloch für geladene Teilchen zum sicheren Ausführen des Absaugens nach dem Gaseinlass, indem der Lochdurchmesser größer gemacht wird als jener der Mikroöffnung oberhalb der Probe.