发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Aufrechterhalten und Erzeugen eines Plasmas
摘要 Verfahren zur Aufrechterhaltung eines Plasmas, wobei das Verfahren die Schritte umfasst: • dass eine erste Wellenlänge einer elektromagnetischen Strahlung in ein Gas innerhalb eines Volumens fokussiert wird, wobei die erste Wellenlänge durch eine erste Gasart absorbiert wird und die Energie in einem ersten Bereich des Plasmas mit einer ersten Größe und einer ersten Temperatur abgegeben wird und • dass eine zweite Wellenlänge einer elektromagnetischen Strahlung in den ersten Bereich des Plasmas fokussiert wird, wobei die zweite Wellenlänge sich von der ersten Wellenlänge unterscheidet und durch eine zweite Gasart, aber nicht durch die erste Gasart, absorbiert wird und dabei Energie in einen zweiten Bereich des Plasmas innerhalb des ersten Bereichs des Plasmas abgibt, und wobei der zweite Bereich des Plasmas eine zweite Größe besitzt, die kleiner ist als die erste Größe und eine zweite Temperatur besitzt, die größer ist als die erste Temperatur.
申请公布号 DE112010000850(B4) 申请公布日期 2017.04.06
申请号 DE20101100850T 申请日期 2010.02.12
申请人 KLA-Tencor Corp. 发明人 Bezel, Ilya;Shchemelinin, Anotoly;Derstine, Matthew;Shifrin, Eugene
分类号 H05G2/00;H05H1/24 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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