一种扫描电子显微镜用全方位辅助成像系统及方法

摘要

本发明公开了一种扫描电子显微镜用全方位辅助成像系统及方法，该辅助成像系统包括安装在扫描电子显微镜的基座上的旋转对中装置和供所扫描样品放置的样品台；旋转对中装置包括平移装置和旋转机构，样品台固定在平移装置上；样品与水平转轴呈平行布设；其辅助成像方法包括步骤：一、样品固定；二、样品旋转及成像位置确定，过程如下：样品初始成像位置确定、第一次顺时针转动及样品成像位置确定、逆时针转动及样品成像位置确定和第二次顺时针转动；三、成像位置对比；四、样品平移；五、样品360°转动与全方位成像。本发明设计合理、实现方便且使用效果好，能解决现有扫描电子显微镜存在的观察范围有限、不能对样品进行全方位观察的问题。

主权项

一种扫描电子显微镜用全方位辅助成像系统，其特征在于：包括安装在扫描电子显微镜的基座(1)上的旋转对中装置和供所扫描样品(6)放置的样品台，所述样品台安装在所述旋转对中装置上；所述旋转对中装置包括对所述样品台进行平移的平移装置和带动所述样品台与所述平移装置同步绕水平转轴(23)旋转的旋转机构，所述旋转机构安装在基座(1)上，所述平移装置安装在所述旋转机构上且其位于所述旋转机构内侧，所述样品台固定在所述平移装置上且其位于所述平移装置内侧；所述样品(6)位于所述样品台内侧且其呈水平布设，所述样品(6)与水平转轴(23)呈平行布设；所述样品台为呈竖直向布设的竖向平台(5)；所述平移装置包括带动所述样品台在水平方向上进行前后平移的水平平移机构和带动所述样品台与所述水平平移机构同步在竖直方向上进行上下平移的竖向平移机构，所述样品台安装在所述水平平移机构上，所述水平平移机构安装在所述竖向平移机构上，且所述竖向平移机构安装在所述旋转机构上；所述旋转机构、所述竖向平移机构、所述水平平移机构和所述样品台由外至内进行布设；所述基座(1)呈水平布设，所述旋转机构、所述竖向平移机构和所述水平平移机构均呈竖直向布设；所述旋转机构包括固定安装在基座(1)上的竖向固定座(21)和位于竖向固定座(21)内侧且能在竖直面上进行旋转的旋转座(22)，所述水平转轴(23)布设在旋转座(22)外侧且其安装在竖向固定座(21)上，竖向固定座(21)上开有供水平转轴(23)安装的水平安装孔。