一种用于扩散工序的源瓶

摘要

本实用新型公开了一种用于扩散工序的源瓶，包括玻璃瓶体、液位传感器、进气管和出气管，其中玻璃瓶体包括第一瓶体和第二瓶体，第一瓶体和第二瓶体内部均为中空，二者彼此连通，扩散源溶液设置在该中空区域内；第一瓶体上端设有两个开口，一个开口处设有进气管，另外一个开口设有出气管；进气管贯穿到玻璃瓶体的底部，出气管设置在玻璃瓶体的上端部；进气管与外围气体相连，出气管通入扩散炉中；液位传感器设置在第二瓶体的内部，用于检测扩散源溶液的液位高度。当液位低于预设高度时，光强探测器探测到的信号，发生变化，控制终端若检测到光强变化，便会控制警报器发出警报，从而有效避免源瓶源量过少造成的扩散方阻超标问题的产生。

主权项

一种用于扩散工序的源瓶，其特征在于，包括：玻璃瓶体、液位传感器、进气管和出气管，其中所述玻璃瓶体包括第一瓶体和第二瓶体，所述第一瓶体和所述第二瓶体内部均为中空，并且二者彼此连通，扩散源溶液设置在所述该中空区域内；所述第一瓶体上端设有两个开口，其中一个开口处设有所述进气管，另外一个开口设有所述出气管；所述进气管贯穿到所述玻璃瓶体的底部，所述出气管设置在所述玻璃瓶体的上端部；所述进气管与外围气体相连，所述出气管通入扩散炉中；所述液位传感器设置在所述第二瓶体的内部，用于检测所述扩散源溶液的液位高度。