一种基于多层阳极氧化铝模板的大面积纳米图形化方法

摘要

本发明公开了一种基于多层阳极氧化铝模板的大面积纳米图形化方法，是首先将多层双通AAO模板堆叠在一起，转移到目标衬底之上；再向覆盖了多层AAO模板的衬底表面蒸镀制备纳米结构所需的材料；然后除去多层AAO模板，即得到图案化的纳米结构阵列。本发明的方法可通过对不同类型的双通AAO模板的选择，通过控制上下层AAO的结构、相对位置、上下层AAO多孔膜的孔/壁尺寸、相对位移、相对旋转角度，或者通过调整多层双通AAO模板堆叠的方式，从而获得不同的大面积（平方厘米级）的结构非常丰富的具有纳米级尺寸的复杂图案的纳米结构。而且本方法制备条件简单、成本低，不需要复杂的设备，易于操作，适用于规模化产业应用。

主权项

一种基于多层阳极氧化铝模板的大面积纳米图形化方法，其特征在于，包括如下步骤：S1.将两层双通AAO模板堆叠在一起，转移到目标衬底之上；S2.向覆盖了两层AAO模板的衬底表面蒸镀制备纳米结构所需的材料；S3.除去两层AAO模板，即得到图案化的纳米结构阵列；在制备过程中，通过对不同类型的双通AAO模板的选择，通过控制上下层AAO的结构和相对位置，或者通过调整两层双通AAO模板堆叠的方式，从而获得不同的复杂而丰富的图案化纳米结构。