发明名称 |
一种手动晶圆装卸载装置 |
摘要 |
本实用新型涉及半导体技术领域,特别涉及一种手动晶圆装卸载装置,该装置包括机械手指、晶圆定位件、状态切换单元、滑动单元、滑轨单元及主机连接板。晶圆定位件设置在机械手指上,晶圆通过晶圆定位件固定在机械手指上;机械手指通过状态切换单元与滑动单元连接,状态切换单元纵向调节机械手指的位置;滑动单元设置在滑轨单元上,沿滑轨单元滑动;滑轨单元通过主机连接板与仪器连接,滑轨与仪器的入口相对设置,晶圆经仪器的入口进出仪器内部。本实用新型提供的手动晶圆装卸载装置,结构简单、制造及使用成本较低,适用于中低端半导体产品。 |
申请公布号 |
CN206076208U |
申请公布日期 |
2017.04.05 |
申请号 |
CN201620997118.0 |
申请日期 |
2016.08.30 |
申请人 |
中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 |
发明人 |
陈鲁;张朝前;刘虹遥;杨乐;马砚忠;路鑫超 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
北京华沛德权律师事务所 11302 |
代理人 |
房德权 |
主权项 |
一种手动晶圆装卸载装置,其特征在于,所述装置包括:机械手指、晶圆定位件、状态切换单元、滑动单元、滑轨单元及主机连接板,其中:所述晶圆定位件固定在所述机械手指上,晶圆通过所述晶圆定位件设置在所述机械手指上;所述机械手指通过所述状态切换单元与所述滑动单元连接,所述状态切换单元纵向调节所述机械手指的位置;所述滑动单元设置在所述滑轨单元上,沿所述滑轨单元滑动;所述滑轨单元通过所述主机连接板与仪器连接,所述滑轨单元与所述仪器的入口相对设置,晶圆经所述仪器的入口进出所述仪器内部。 |
地址 |
314006 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号(嘉兴科技城) |