一种动态流导法测量真空器件残余气体分析系统装置

摘要

一种动态流导法测量真空器件残余气体分析系统装置，结构为：抽气装置的第一复合分子泵的出气端与第二复合分子泵的进气端连接；第二复合分子泵的出气端连接机械泵的进气端；复合分子泵与前级阀之间连接有电阻规；气体校准的进气装置的超高真空针阀的进气端依次通过气体质量流量计、进气阀、储气罐和减压阀连接气瓶的出气端；流导的流导与超高真空截止阀并联连接，流导构成超高真空截止阀的旁通管路，流导的两端与超高真空截止阀的两端分别对应连接；流导单元的进气端连接测量室；流导单元的出气端连接第二复合分子泵的进气端；测量室、壳体破拆装置和传动机构室都装在平台上；壳体破拆装置连接在测量室和传动机构室之间；测量室连接有质谱仪和真空计。

主权项

一种动态流导法测量真空器件残余气体分析系统装置，其特征是包括平台、抽气装置、气体校准的进气装置、流导单元、测量室、壳体破拆装置和传动机构室；所述抽气装置包括机械泵、第一复合分子泵和第二复合分子泵；第一复合分子泵的进气端即为抽气装置的进气端；第一复合分子泵的出气端与第二复合分子泵的进气端连接；第二复合分子泵的出气端通过前级阀连接机械泵的进气端；复合分子泵与前级阀之间连接有电阻规；所述气体校准的进气装置的结构为：超高真空针阀的进气端依次通过气体质量流量计、进气阀、储气罐和减压阀连接气瓶的出气端；超高真空针阀的出气端即为气体校准的进气装置的出气端；在超高真空针阀的出气端上连接有超高真空放气阀；所述气体校准的进气装置外设有加热套；所述流导单元包括超高真空截止阀、流导和超高真空电离真空计；所述流导与超高真空截止阀并联连接，流导构成超高真空截止阀的旁通管路，所述流导的两端与超高真空截止阀的两端分别对应连接；所述超高真空截止阀与流导的进气连接端即为流导单元的进气端，所述超高真空截止阀与流导的出气连接端即为流导单元的出气端；在流导单元的出气端上连接有超高真空电离真空计；流导单元外设有加热套；流导单元的进气端通过一超高真空金属截止阀连接测量室；所述流导单元的出气端连接第二复合分子泵的进气端；所述测量室、壳体破拆装置和传动机构室都装在平台上，测量室和传动机构室都装有测温装置；壳体破拆装置连接在测量室和传动机构室之间；测量室外套有第一烘箱；传动机构室外套有第二烘箱；测量室和传动机构室是密闭的，测量室连接有质谱仪和真空计；所述壳体破拆装置包括真空室、击针系统和固定支座；固定支座在真空室内，击针系统连接在真空室上，固定支座和击针系统位置对应；所述击针系统包括真空波纹管、破拆击针、旋转开关、传动螺杆、传动块、击针支座、平面轴承和密封连接件；所述真空室的壁上设有开口，第一法兰焊接在该开口上；真空波纹管的首端密封焊接环形的密封连接件，环形的密封连接件的外缘与第一法兰的孔内壁密贴，且二者滑配连接；平面轴承的固定部分与第二法兰固定连接；第一、第二法兰可拆卸连接；所述击针支座的外壁与真空波纹管的内壁配合，且真空波纹管的末端密封焊接击针支座；击针支座首端固定连接传动块，击针支座的末端连接破拆击针；传动块的外壁与真空波纹管的内壁配合；破拆击针的尖端指向样品固定装置；传动块内设有螺孔；所述传动螺杆设有外螺纹，该螺纹与螺孔的内螺纹对应，传动螺杆与螺孔连接；传动螺杆的末端指向击针支座，传动螺杆的首端连接旋转开关；传动螺杆与平面轴承的转动部分连接，传动螺杆的首部伸出平面轴承，且连接旋转开关；传动螺杆、螺孔、平面轴承、真空波纹管、第一法兰和第二法兰，它们的中心轴线重合，所述破拆击针的尖端也在该中心轴线上；所述固定支座包括固定支座、样品固定滑台和无磁导轨；固定支座固定连接在真空室内；无磁导轨的一端连接在固定支座上；样品固定滑台滑动连接在无磁导轨上；在样品固定滑台上连接有滑动驱动装置；所述的测量室和传动机构室连接在所述真空室的两端；无磁导轨的另一端伸入传动机构室内。