一种光电子封装柔性并联平台末端位姿检测系统及方法

摘要

本发明提供一种光电子封装柔性并联平台末端位姿检测系统及方法，该系统包括六套位姿检测装置，用于检测动平台的六个自由度的位姿值，同时六个传感器均固定在动平台之外的支架上，动平台只需要安装检测挡板，减轻了动平台的压力，避免对动平台的运动造成干扰；而且传感器具有体积小、安装方便和成本低廉的优点。本发明对柔性并联平台的动平台姿态的检测调整分为宏观位姿检测和微观位姿检测两个部分：宏观位移使得位姿精度控制在十微米范围内，通过六套位姿检测装置测出六自由度平台的实际位姿；微观位姿检测是利用光功率计进行检测调整，通过光功率计来观察透光量的数据，以进行微调。

主权项

一种光电子封装柔性并联平台末端位姿检测系统，其特征在于，包括六套位姿检测装置，用于检测动平台的六个自由度的位姿值。