发明名称 METHOD FOR FORMING A SEMICONDUCTOR PORTION BY EPITAXIAL GROWTH ON A STRESSED PORTION
摘要 L'invention porte sur formation d'une portion semiconductrice (60) par croissance épitaxiale sur une portion contrainte de germination (40), comportant les étapes dans lesquelles on réalise une cavité (21) sous une partie structurée (11) en rendant libre une couche support (30) située en regard de la partie structurée (11), une portion centrale (40), dite portion contrainte de germination, étant alors contrainte ; et on forme une portion semiconductrice (60) par croissance épitaxiale sur la portion contrainte de germination (40), caractérisé en ce qu'on réalise en outre une mise en contact de la partie structurée (11) avec la couche support (30) de manière à rendre solidaire la partie structurée (11) de la couche support.
申请公布号 EP3151266(A1) 申请公布日期 2017.04.05
申请号 EP20160190980 申请日期 2016.09.28
申请人 Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 发明人 REBOUD, Vincent;GASSENQ, Alban;GUILLOY, Kévin;CALVO, Vincent;TCHELNOKOV, Alexei
分类号 H01L21/20;H01L21/02 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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