一种制备氧化锌/硫化锌复合光电薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种制备氧化锌/硫化锌复合光电薄膜的方法，属于半导体薄膜制备技术领域。本发明通过如下步骤得到：首先清洗基片，然后将氧化锌、CH₄N₂S放入溶剂中，采用旋涂法在基片上得到前驱体薄膜，烘干，放入有水合联氨的可密闭容器中，使前驱体薄膜样品不与联氨接触，最后进行干燥，得到氧化锌/硫化锌复合光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件，对仪器设备要求低，生产成本低，生产效率高，易于操作，所得氧化锌/硫化锌复合光电薄膜有较好的连续性和均匀性。这种新工艺容易控制目标产物的成分和结构，为制备高性能的氧化锌/硫化锌复合光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的制备方法。

主权项

一种制备氧化锌/硫化锌复合光电薄膜的方法，包括如下顺序的步骤：a.玻璃基片或硅基片的清洗；b.将2.36～4.13份氧化锌、2.5～5.0份CH₄N₂S放入90～150份的溶剂中，使溶液中的物质均匀混合；c.制作外部均匀涂抹步骤b所述溶液的基片，并烘干，得到前驱体薄膜样品；d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上，放入有水合联氨的可密闭容器，使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触,将装有前躯体薄膜样品的密闭容器放入烘箱中，加热至250℃～320℃之间，保温时间25～35小时，然后冷却到室温取出；e.将步骤d所得产物，进行自然干燥，得到氧化锌/硫化锌复合光电薄膜。