| 发明名称 | 一种三明治结构的ZnON薄膜 | ||
| 摘要 | 一种采用三明治结构的ZnON薄膜，三明治结构的ZnON薄膜的基底上的夹层为富氮ZnON薄膜，富氮ZnON薄膜厚度为20‑150纳米，夹层上部的覆盖层为富氧ZnON薄膜，富氧ZnON薄膜层厚为5‑30纳米，基底为硅片、石英、玻璃或柔性衬底。三明治结构中夹层富氮ZnON和原位制备覆盖层富氧ZnON，提高了晶体管沟道层的稳定性，抑制后续晶体管器件的功能老化衰退。 | ||
| 申请公布号 | CN206076241U | 申请公布日期 | 2017.04.05 |
| 申请号 | CN201620088085.8 | 申请日期 | 2016.01.28 |
| 申请人 | 南京大学 | 发明人 | 叶建东;程丽娜;朱顺明;汤琨;任芳芳;顾书林;郑有炓 |
| 分类号 | H01L29/24(2006.01)I;H01L21/363(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人 | 陈建和 |
| 主权项 | 一种三明治结构的ZnON薄膜，其特征在于：三明治结构的ZnON薄膜基底上夹层为富氮ZnON薄膜，富氮ZnON薄膜厚度为20‑150纳米，夹层上部的覆盖层为富氧ZnON薄膜，富氧ZnON薄膜厚度为5‑30纳米，基底为硅片、石英、玻璃或柔性衬底。 | ||
| 地址 | 210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号 | ||