靶材组件及其加工方法

摘要

一种靶材组件及其加工方法，其中加工方法包括：形成靶材组件，靶材组件包括背板以及与背板相连的靶材，背板与靶材相连的一面为正面，靶材包括与带电粒子发生碰撞的溅射面和与溅射面通过倒角相连的侧面；靶材侧面与倒角的连接处和靶材侧面与背板正面连接处之间的区域构成靶材组件表面的吸附区域；对靶材组件表面的吸附区域进行喷砂处理。本发明通过对靶材组件表面用于吸附反溅射物的吸附区域进行喷砂处理，以提高靶材组件表面吸附区域的粗糙程度，提高靶材组件的吸附能力，降低吸附颗粒物剥落和尖端放电等现象出现的可能，延长了靶材的使用寿命，减少了由于吸附颗粒物剥落而导致的产品报废现象的出现，提高了产品的良品率。

主权项

一种靶材组件的加工方法，其特征在于，包括：形成靶材组件，所述靶材组件包括背板以及与所述背板相连的靶材，所述背板与所述靶材相连的一面为正面，所述靶材包括与带电粒子发生碰撞的溅射面和与所述溅射面通过倒角相连的侧面；靶材侧面与倒角的连接处和靶材侧面与背板正面连接处之间的区域构成靶材组件表面的吸附区域；对所述靶材组件表面的吸附区域进行喷砂处理。