一种薄膜设备喷淋板加热结构

摘要

本发明涉及一种电加热装置，具体地来讲为一种薄膜设备喷淋板加热结构。该结构包括温控系统与加热板，温控系统包括有温控器以及功率控制器，功率控制器的输出端通过连接AC滤波电路至加热板，设置一热电偶用于采集加热板的温度，所述热电偶通过连接一TC滤波电路连接在温控器的温度采集输入端。本发明交流干扰信号大部分将被电感阻止吸收变成磁感和热能，剩下的大部分被电容旁路到地，这就可以抑制干扰信号的作用，在输出端就获得比较纯净的交流电。经过TC滤波电路，采用电阻，电感和电容组成的RLC滤波电路，滤掉射频干扰(13.56MHz以上)和50Hz/60Hz(电源)的工频干扰，保证温控器接收到的信号能够正确地反映加热板的真实温度。

主权项

一种薄膜设备喷淋板加热结构，其特征在于，该装置包括温控系统与加热板，温控系统包括有温控器以及功率控制器，功率控制器的输出端通过连接AC滤波电路至加热板，设置一热电偶用于采集加热板的温度，所述热电偶通过连接一TC滤波电路连接在温控器的温度采集输入端。