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Mikromechanisches Bauelement (1), mit einem eine Haupterstreckungsebene (11) aufweisenden homogenen Substrat (2) und einer parallel zur Haupterstreckungsebene (11) ausgebildeten weiteren Schicht (3), dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (2) derart strukturiert ist, dass das Substrat (2) eine mikromechanische Funktionsschicht (2') aufweist, welche in einer zur Haupterstreckungsebene (11) parallel angeordneten Ebene (11') im Substrat (2) angeordnet ist und welche in einer zur Haupterstreckungsebene (11) senkrechten Richtung (10') zumindest teilweise die weitere Schicht (3) überlappt, das mikromechanische Bauelement (1) eine Verkappungsschicht (4) aufweist, wobei die Verkappungsschicht (4) auf einer ersten Seite (5) des Substrats (2) und die weitere Schicht (3) auf einer zweiten Seite (6) des Substrats (2) angeordnet ist, die weitere Schicht (3) Gräben (9) senkrecht zur Haupterstreckungsebene (11) aufweist und die weitere Schicht (3) Kontaktpads (12) aufweist. |
