槽栅型直角复合栅场板异质结器件及其制作方法

摘要

本发明公开了一种槽栅型直角复合栅场板异质结器件及其制作方法，主要解决现有场板技术在实现高击穿电压时工艺复杂的问题。其包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、漏极(5)、台面(6)、栅槽(7)、栅极(8)、钝化层(9)和保护层(13)。钝化层内刻有凹槽(10)，该凹槽内完全填充有高介电常数介质(11)；钝化层(9)与保护层(13)之间淀积有一字形栅场板(12)，其靠近栅极一侧边缘与凹槽靠近栅极一侧边缘对齐；该一字形栅场板(12)与高介电常数介质(11)构成直角复合栅场板，一字形栅场板与栅极电气连接。本发明具有制作工艺简单、击穿电压高、可靠性高和成品率高的优点，可作为开关器件。

主权项

一种槽栅型直角复合栅场板异质结器件，自下而上包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、钝化层(9)和保护层(13)，势垒层(3)的上面淀积有源极(4)与漏极(5)，势垒层(3)的侧面刻有台面(6)，且台面深度大于势垒层的厚度，在源极与漏极之间的势垒层内刻有栅槽(7)，在栅槽内淀积有栅极(8)，其特征在于，钝化层(9)内刻有凹槽(10)，该凹槽内完全填充有高介电常数介质(11)；钝化层(9)与保护层(13)之间淀积有一字形栅场板(12)，且该一字形栅场板靠近栅极一侧的边缘与凹槽(10)靠近栅极一侧的边缘对齐，该一字形栅场板(12)与高介电常数介质(11)构成直角复合栅场板结构，且一字形栅场板(12)与栅极(8)电气连接；所述的凹槽(10)靠近栅极一侧边缘与栅极(8)靠近漏极一侧边缘之间的距离a为s×(d+s×ε₁/ε₂)^0.5，其中s为凹槽的深度，d为凹槽底部与势垒层之间的距离，ε₁为钝化层的相对介电常数，ε₂为高介电常数介质的相对介电常数。