一种液相生长碳化硅籽晶轴装置

摘要

本申请涉及SiC生产技术领域，具体为一种液相生长碳化硅籽晶轴装置。该装置包括石墨轴和石墨棒两部分，籽晶粘贴在石墨棒上，石墨棒和石墨轴固定连接在一起。制作好的籽晶轴在石墨棒上，当取下时即将石墨棒取下即可，不会造成对石墨轴的污染，节约了石墨轴经常更换的成本。

主权项

一种液相生长碳化硅籽晶轴装置，其特征在于，包括石墨轴和石墨棒两部分，石墨轴和石墨棒通过有效连接方式，同轴地连接在一起；所述的石墨轴和石墨棒通过螺纹连接在一起，具体为在石墨轴(4)的头部设置有内螺纹(1)；在石墨棒(3)的尾部设置有外螺纹(2)，内螺纹(1)和外螺纹(2)相对应；粘贴籽晶的石墨棒，尺寸如下：直径大于等于籽晶直径，长度由2cm～10cm，材质与石墨轴相同，均为高纯石墨材质，使用螺纹连结的情况，螺纹间距为1mm～3mm。