动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机

摘要

本实用新型提供一种动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头和两个交叉的直线运动平台，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头和二维振镜头安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，两个交叉的直线运动平台运动方向相互垂直，激光发生器和二维振镜头各有两件或两件以上，多件激光发生器的激光头和二维振镜头组合后并排安装，其特征在于：还包括动态聚焦镜，动态聚焦镜安装在激光发生器的激光头和二维振镜头组合之间。本实用新型的动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机生产效率高，良品率高。

主权项

动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头和两个交叉的直线运动平台，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头和二维振镜头安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，两个交叉的直线运动平台运动方向相互垂直，激光发生器和二维振镜头各有两件或两件以上，多件激光发生器的激光头和二维振镜头组合后并排安装，其特征在于：还包括动态聚焦镜，动态聚焦镜安装在激光发生器的激光头和二维振镜头组合之间。