太阳能硅片镀膜用石墨舟片及石墨舟

摘要

本实用新型公开了一种太阳能硅片镀膜用石墨舟片及石墨舟，通过在石墨舟片上形成有若干贯穿石墨舟片的孔洞，因而可实现在太阳能硅片在进行真空镀膜过程中通过所述孔洞形成对背靠背固定在石墨舟片上的太阳能硅片四个角进行吸附，从而使石墨舟片上的太阳能硅片的四个角牢固的吸附在石墨舟片上，有效地避免了太阳能硅片在镀膜过程中由于石墨舟片表面和卡点存在部分磨损而造成的固定在其上的太阳能硅片表面的不平整甚至部分翘起，进而导致的边角色差和绕射现象，为硅片形成均匀一致的膜层提供良好的保障。

主权项

一种太阳能硅片镀膜用石墨舟片，其特征在于，包括：石墨舟片，所述石墨舟片上设置有卡点，太阳能硅片放置于所述石墨舟片上，并通过所述卡点进行固定；所述石墨舟片上设置有若干孔洞，所述若干孔洞贯穿所述石墨舟片，且所述若干孔洞均匀分布在所述石墨舟片与所述太阳能硅片的四个角内侧重叠的位置周围，用于在镀膜抽真空作用下对放置于所述石墨舟片上的太阳能硅片的四个角进行吸附固定。