| 摘要 |
圧電薄膜の割れや剥がれが生じ難い弾性波装置を提供する。支持基板２上に、圧電薄膜６を含む複数の膜を積層してなる積層膜３が積層されており、ＩＤＴ電極１１が圧電薄膜６の一方面に設けられており、ＩＤＴ電極１１に配線電極１２が接続されており、配線電極１２が引き出し電極部１３とパッド電極部１４とを有し、パッド電極部１４の上方に外部接続端子７が位置しており、外部接続端子７がパッド電極部１４に電気的に接続されており、積層膜３の内少なくとも圧電薄膜６がパッド電極部１４の下方には存在しないように、支持基板２上においてパッド電極部１４上に外部接続端子７が接合されている、弾性波装置１。 |
