| 摘要 |
熱膨張率の大きい金属からなるダイアフラムにおいても歪検出素子を安定的に接合することができる圧力測定装置を提供する。上記課題を解決するために、本発明の圧力測定装置は、圧力導入部と、該圧力導入部から導入された圧力により変形が発生するダイアフラムと、を有する金属筐体と、前記ダイアフラムに発生する歪を検出する歪検出素子と、を備える圧力検出装置において、前記金属筐体上に、第一の脆性材からなる基台を有し、前記歪検出素子は、前記基台よりも低融点である第二の脆性材を介して、前記基台と接合されることを特徴とする。 |
