Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substrats

摘要

Ein Verfahren zur Herstellung einer Metalloxidschicht auf einem Substrat (100) umfasst die Schritte: Bilden (S110) einer kohlenstoffhaltigen Metallschicht auf dem Substrat (100); und, daran anschließend, Oxidieren (S120) der Metallschicht durch eine Wärmebehandlung mit einer vorbestimmten Temperatur in einer sauerstoffhaltigen Umgebung.