| 摘要 |
検出器（１２）は、電子線照射部（１１）による電子線の照射により試料（１０）から放出される反射電子又は二次電子を検出するものであり、その一端が試料（１０）と離間して対向した非接触状態とされ、他端が駆動機構（１３）に支持固定されており、駆動機構（１３）は、検出器（１２）を試料（１０）に対して３次元的に任意の位置に移動自在とされている。この構成により、任意の方位に散乱した反射電子や二次電子を適宜に検出することが可能であり、結晶粒界の見落としの無い正確な結晶粒径の評価及び等方的な表面形状像の取得が実現する。 |
