センサ

摘要

実施形態によれば、構造体と、容器と、液体と、検出部と、を含むセンサが提供される。前記構造体は、支持部と、膜部と、を含む。膜部は、第１領域を含む。前記第１領域は、前記支持部に支持された第１端部と、変位可能な第１部分と、を含む。前記膜部は、開口部を有する。前記容器は、前記構造体と接続され、前記膜部との間に第１空間を形成する。前記液体は、前記第１空間内に設けられる。前記検出部は、前記液体の変位に伴う前記第１部分の変位を検出する。