| 摘要 |
【課題】多結晶シリコンの表面を清浄に維持するために好適な樹脂材料およびそれからなるビニール製袋を提供すること。【解決手段】本発明では、多結晶シリコンを製造するに際し、一貫して、下記の不純物表面濃度の樹脂材料を用いる。１ｗｔ％の硝酸水溶液を抽出液としてＩＣＰ質量分析法で定量分析して得られた値が、リン（Ｐ）濃度が５０ｐｐｔｗ以下、ヒ素（Ａｓ）濃度が２ｐｐｔｗ以下、ボロン（Ｂ）濃度が２０ｐｐｔｗ以下、アルミニウム（Ａｌ）濃度が１０ｐｐｔｗ以下、鉄（Ｆｅ）、クロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、ナトリウム（Ｎａ）、亜鉛（Ｚｎ）の６元素の合計が８０ｐｐｔｗ以下、リチウム（Ｌｉ）、カリウム（Ｋ）、カルシウム（Ｃａ）、チタン（Ｔｉ）、マンガン（Ｍｎ）、コバルト（Ｃｏ）、モリブデン（Ｍｏ）、錫（Ｓｎ）、タングステン（Ｗ）、鉛（Ｐｂ）の１０元素の合計が１００ｐｐｔｗ以下。【選択図】なし |
