| 摘要 |
【課題】焼結後の冷却時における円筒形ターゲットの割れやクラック等の発生を防止する。【解決手段】筒状に形成されたスリーブと、該スリーブ内部のに配置された芯棒と、前記スリーブと前記芯棒とにより形成されるリング状の空間部に挿入可能に設けられたパンチとを備える粉末焼結用モールドを用い、原料粉末を前記空間部内に投入して前記パンチで前記スリーブの軸方向に押圧した状態で加熱することにより焼結させ、焼結後に冷却する円筒形ターゲットの製造方法であって、前記原料粉末の焼結後に該原料粉末の焼結体への前記パンチによる押圧を解除するとともに前記芯棒を引き抜き、該芯棒が引き抜かれた状態で前記焼結体の冷却を完了させる。【選択図】 図５ |
