| 摘要 |
【課題】加工対象の品質が低下することを抑制できる加工装置を提供する。【解決手段】一つの実施形態に係る加工装置は、第１のマスクと、第２のマスクと、照射部と、第１の移動部と、を備える。前記第１のマスクは、加工領域の少なくとも一部を覆い、第２の方向に沿って移動可能である。前記第２のマスクは、前記加工領域の少なくとも一部を覆い、前記第２の方向に沿って移動可能であり、前記第２の方向に前記第１のマスクから離間し、前記第１のマスクとの間に第１の間隔を形成する。前記照射部は、前記第１のマスク及び前記第２のマスクから離間した位置に設けられ、前記第１の間隔を通して前記加工領域にエネルギー線を照射可能であり、前記エネルギー線が照射される位置を変更可能である。前記第１の移動部は、前記エネルギー線が照射される位置の移動に応じて、前記照射部に対し前記第１のマスク及び前記第２のマスクを移動させる。【選択図】図２ |
