| 摘要 |
第１のアームおよび第２のアームを有するプローブと、第１のアームおよび第２のアームによって担持されるプローブ・チップとを備えるプローブ・システム。照射システムが、第１の作動場所における第１のアームおよび第２の作動場所における第２のアームの各々を、それぞれの照射出力で照射することによって、プローブを変形するように構成される。作動制御装置が、プローブの高さおよび傾斜角、このためチップの高さおよび横方向位置を制御するために、各作動場所における照射出力を独立して制御するように構成される。第１のアームおよび第２のアームは、プローブ・チップを通る対称面の両側における互いの鏡像である。プローブ・チップの高さを測定して高さ信号を生成するのみでなく、プローブの傾斜角を測定して傾斜信号を生成する検出システムが提供される。この傾斜信号から、チップの横方向位置を求めることができる。 |
