| 摘要 |
【課題】モールドをクリーニングするのに有利なインプリント装置を提供する。【解決手段】モールド３を用いて基板６上にパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置１００であって、モールドを保持する保持部２と、保持部にモールドが保持された状態でモールドのパターン面の一部分のクリーニングを行うクリーニング部５と、モールドのパターン面に付着した異物の位置を特定する特定部２２と、特定部によって特定された異物の位置に基づいてクリーニング部を位置決めし、クリーニング部にクリーニングを行わせて異物を除去する処理を行う処理部２２と、を有する。【選択図】図１ |
