炭素膜を備える構造体及び炭素膜を形成する方法

摘要

本発明の一実施形態における構造体は、基材表面の形状に依存することなく炭素膜の表面に微細な凹凸構造を形成する。この構造体は、基材と、この基材上に形成され、炭素、又は、炭素及び水素を含む炭素膜と、を備え、この炭素膜の表面の少なくとも一部は、酸素及び／又はＡｒのイオン及び／又はラジカル（例えば、プラズマ）を照射することによって形成された微細な凹凸構造を有する。この微細な凹凸構造は、十点平均粗さＲｚが２０ｎｍ以上である。