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发明名称
電界処理方法及び電界処理装置
摘要
処理液に含まれる被処理イオンを用いて所定の処理を行う電解処理装置は、処理液を挟むように配置された直接電極及び対向電極と、処理液に電界を形成する間接電極と、間接電極に対して、電源との接続と、直接電極又は対向電極との接続とを切り替えるスイッチと、を有し、当該スイッチは、間接電極と電源とを接続して電圧を印加し、当該スイッチは、間接電極と電源との接続を切断し、当該間接電極と直接電極又は対向電極とを接続する。
申请公布号
JPWO2015104951(A1)
申请公布日期
2017.03.23
申请号
JP20150556746
申请日期
2014.12.12
申请人
東京エレクトロン株式会社
发明人
岩津 春生
分类号
C25D5/00;C25D7/12;C25D17/10
主分类号
C25D5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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