检验位点准备

摘要

本发明的实施例涉及一种电子束成像/检验设备，其具有电子源装置以紧接在图像获取或检验之前将泛射电子引导于样本上。所述设备包括经配置以在第一模式中对样本进行充电的第一装置，其中所述第一装置包含电子源，所述电子源经配置以将带电粒子的泛射束提供到所述样本的第一区域。所述设备还包括第二装置，所述第二装置经配置以在第二模式中产生初级电子束且表征所述初级束与所述第一区域内所述样本的第二区域之间的相互作用。所述设备经配置成以少于1秒从所述第一模式切换到所述第二模式。

主权项

一种设备，其包括：第一装置，其经配置以在第一模式中对样本进行充电，其中所述第一装置包含经配置以将带电粒子的泛射束提供到所述样本的第一区域的电子源；及第二装置，其经配置以在第二模式中产生初级电子束且表征所述初级束与所述第一区域内所述样本的第二区域之间的相互作用，其中所述设备经配置成以少于1秒从所述第一模式切换到所述第二模式。