蒸镀用片材及其制造方法

摘要

本发明的蒸镀用片材，其特征在于，在氧化铟烧结体的断裂面上出现的晶粒的粒度分布中，构成最大峰的粒径的晶粒所占的比率为20％以下。并且，所述蒸镀用片材通过包括下列工序的方法来进行制造：第一工序，混合氧化铟粉末和氧化铈粉末，并在1300℃以上且1550℃以下进行热处理，由此获得煅烧粉末；第二工序，在所获得的煅烧粉末中，以使上述煅烧粉末的比率成为50质量％以上且80质量％以下的方式，混合未煅烧的氧化铟粉末和/或氧化铈粉末并且进行造粒，由此获得造粒粉末；以及第三工序，使所获得的造粒粉末成型为成型体，将该成型体在1100℃以上且1350℃以下并且与第一工序中的煅烧粉末的热处理温度相比低200℃以上的温度下进行烧结，由此获得作为掺杂物含有铈的氧化铟烧结体。

主权项

一种蒸镀用片材，由作为掺杂物含有铈的氧化铟烧结体构成并且相对密度为50％以上且80％以下，其特征在于，在针对所述氧化铟烧结体的断裂面上出现的晶粒，将其粒径及其个数相乘所得到的晶粒量的分布中，构成最大峰的粒径的晶粒所占的比率、即最多晶粒比率为20％以下。