发明名称 | 体声波谐振器及其制造方法以及使用体声波谐振器的射频装置 | ||
摘要 | 提供了一种体声波谐振器(BAWR)。所述BAWR可以包括第一电极、设置在第一电极上的压电层以及设置在压电层上的第二电极。在各个方面,第一电极、压电层和第二电极中的至少一个由碳基材料形成。 | ||
申请公布号 | CN103858342B | 申请公布日期 | 2017.03.22 |
申请号 | CN201280049624.1 | 申请日期 | 2012.08.27 |
申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 孙尚郁;金德焕;金哲秀;朴浩洙;宋寅相;申济湜;李文喆;崔婧 |
分类号 | H03H9/17(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/17(2006.01)I |
代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人 | 尹淑梅;戴嵩玮 |
主权项 | 一种体声波谐振器,包括:膜,设置在空气空腔上;第一电极,设置在膜上;压电层,设置在第一电极上;第二电极,设置在压电层上;以及频率温度系数补偿层,包括碳基材料以补偿第一电极、压电层和第二电极的频率温度系数,其中,第一电极、压电层和第二电极中的至少一个包括碳基材料。 | ||
地址 | 韩国京畿道水原市 |