发明名称 |
硅棒多工位组合加工机 |
摘要 |
本实用新型提供一种硅棒多工位组合加工机,包括:机座,具有硅棒加工台;硅棒移送设备,邻设于硅棒加工台的装卸区位,用于将硅棒转移至硅棒加工台或经加工后的硅棒转移出硅棒加工台;第一加工设备,设于硅棒加工台的第一加工区位,用于对硅棒进行第一加工作业;第二加工设备,设于硅棒加工台的第二加工区位,用于对硅棒进行第二加工作业;硅棒转换设备,设于硅棒加工台上,用于将硅棒承托台上承托的由硅棒移送设备转移来的硅棒在硅棒加工台上的各个区位之间转换。本申请硅棒多工位组合加工机,集合了多个作业设备,可利用硅棒移送设备能将硅棒快速、平稳且无损伤地进行移送,能自动化实现硅棒加工的多个工序作业,节省人工成本且提高生产效率。 |
申请公布号 |
CN206029479U |
申请公布日期 |
2017.03.22 |
申请号 |
CN201621017458.9 |
申请日期 |
2016.08.31 |
申请人 |
上海日进机床有限公司 |
发明人 |
卢建伟 |
分类号 |
B24B5/36(2006.01)I;B24B9/06(2006.01)I;B24B27/00(2006.01)I;B24B41/00(2006.01)I |
主分类号 |
B24B5/36(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种硅棒多工位组合加工机,其特征在于,包括:机座,具有硅棒加工台;硅棒移送设备,邻设于所述硅棒加工台的装卸区位,用于将待加工的硅棒转移至所述硅棒加工台或经加工后的所述硅棒转移出所述硅棒加工台;第一加工设备,设于所述硅棒加工台的第一加工区位,用于对所述硅棒进行第一加工作业;第二加工设备,设于所述硅棒加工台的第二加工区位,用于对通过所述第一加工设备的第一加工作业后的所述硅棒进行第二加工作业;以及硅棒转换设备,设于所述硅棒加工台上,用于将由所述硅棒移送设备转移来的所述硅棒在所述硅棒加工台上的所述装卸区位、所述第一加工区位、以及所述第二加工区位之间转换。 |
地址 |
201601 上海市松江区泗泾镇九干路1358号 |