硅片水平提拉成型设备热场结构

摘要

本发明涉及一种硅片水平提拉成型设备热场结构，包括炉体以及设置在炉体内的底座石墨和钳锅，钳锅设置在底座石墨的上端，钳锅的两侧经石墨钩子与底座石墨固定连接，钳锅上形成硅晶熔融区以及温度控制区，硅晶熔融区和温度控制区相通，钳锅下方设置有2根用于石墨加热棒；钳锅温度控制区下方设置有调温石墨毡块和保温石墨毡块，调温石墨毡块连接插杆；底座石墨的一侧设置开口，开口与钳锅的温度控制区连通，开口外侧安装用于水平提拉的基板。本发明的水平硅片提拉成型设备的热场结构，结构设计合理，实用性强，装配方便，有效提高硅片的品质,减少硅片的内部缺陷。

主权项

一种硅片水平提拉成型设备热场结构，其特征是，包括炉体以及设置在炉体内的底座石墨（1）和钳锅（2），所述钳锅（2）设置在底座石墨（1）的上端，所述钳锅（2）的两侧经石墨钩子（5）与底座石墨（1）固定连接，所述钳锅（2）上形成硅晶熔融区以及温度控制区，所述硅晶熔融区和温度控制区相通，所述钳锅（2）下方设置有2根用于对钳锅（2）进行加热的石墨加热棒（3）；所述钳锅（2）温度控制区下方设置有调温石墨毡（41）块和保温石墨毡（42）块，所述调温石墨毡（41）块连接用于控制其运动的插杆（43）；所述底座石墨（1）的一侧设置开口（10），所述开口（10）与钳锅（2）的温度控制区连通，所述开口（10）外侧安装用于水平提拉的基板。